超精密车铣磨纳米复合加工机-深圳市威雄精机有限公司

超精密车铣磨纳米复合加工机

超精密车铣磨纳米复合加工机

1、设备配置

（1）平台整体采用天然花岗岩；

（2）直线轴采用直线电机驱动+气浮导轨运动，旋转轴采用DD马达驱动+气浮平台旋转；

（3）整个平台带隔振系统；

（4）超高速超精密空气主轴：XPEED1200，空气主轴最高转速为120000 rpm；

（5）集成气源装置：统一处理装备气源，包括平台气浮、空气主轴气动、平台真空等；

2、规格参数

项目	单位	参数
设备功能
车削、磨削、机上量测、在线影像观测及加工误差补偿四位一体
设备应用
超精密光学零件模具、自由曲面零件模具的加工
加工刀具
超精密切削用金刚石刀具
控制系统
ACS控制器、NanoPWM驱动器、YMP-CAM五轴联动及加工软件
X轴
行程	mm	300
直线度	nm/mm	400/300
重复定位精度	nm	±80
定位精度（补偿后）	nm	±300
Yaw	arcsec	2
Pitch	arcsec	2
Y轴
行程	mm	400
直线度	nm/mm	600/400
重复定位精度	nm	±80
定位精度（补偿后）	nm	±300
Yaw	arcsec	2
Pitch	arcsec	2
Z轴
行程	mm	150
直线度	nm/mm	200/150
重复定位精度	nm	±80
定位精度（补偿后）	nm	±300
Yaw	arcsec	2
Pitch	arcsec	2
V轴
行程	mm	150
直线度	nm/mm	200/150
重复定位精度	nm	±80
定位精度（补偿后）	nm	±300
Yaw	arcsec	2
Pitch	arcsec	2
C轴（工作回转轴）
扭矩（连续）	N．m	4.5
扭矩（最高）	N．m	9
主轴最大转速	rpm	400
主轴最大工作转速	rpm	200
转角精度	arcsec	±2（补偿后）
转角重复定位精度	arcsec	±0.5（补偿后）
转角分辨率	arcsec	0.5
最大径向承载	N	450
最大轴向承载	N	700
径向运动精度	um	0.1
轴向运动精度	um	0.1
中间轴通孔	mm	22
重量	kg	≤12
供气气压	MPa	0.45±0.05
主轴端部外径	mm	Φ216
主轴（砂轮回转轴）
主轴最大转速	rpm	120,000
最大供给气压	kpa	1060
空气消耗流量	Nl/min	80
壳体直径	mm	Φ88(法兰) x Φ65（轴径）
最低径向负载	Kgf	2.5
最低轴向负载（拉）	Kgf	2.5
最低轴向负载（推）	Kgf	7
最大轴锥度跳动	um	1
最大轴径向跳动	um	1
快刀伺服轴
长x宽x高	mm	347 x 167 x 100.4
重量	kg	13.5
最大加速度	m/s2	460
行程	mm	40
刀具尖端最大横向力	N	60
轴承间隙	um	>8
供气压力	bar	5±0.5
进给、分辨率
X轴快速进给	mm/s	500
Y轴快速进给	mm/s	500
Z轴快速进给	mm/s	500
V轴快速进给	mms	500
X轴分辨率	nm	0.3
Y轴分辨率	nm	0.3
Z轴分辨率	nm	0.3
V轴分辨率	nm	0.3
其它
气源处理		SMC增压缸
真空发生器		施迈茨真空泵
压缩气处理系统		SMC空气洁净单元
切削油处理		油雾分离器
机床总电源	V	三相 AC200V±10%
机床总功率	KW	18
机床重量	kg	1600
外观尺寸	m	1.51.61.9

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